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三氟化氮 NF3
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三氟化氮在常溫下是一種無(wú)色、無(wú)臭、性質(zhì)穩(wěn)定的氣體,是一種強(qiáng)氧化劑。三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體,在離子蝕刻時(shí)裂解為活性氟離子,這些氟離子對(duì)硅和鎢化合物,高純?nèi)哂袃?yōu)異的蝕刻速率和選擇性(對(duì)氧化硅和硅),它在蝕刻時(shí),在蝕刻物表面不留任何殘留物,是非常良好的清洗劑,同時(shí)在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運(yùn)用。


    三氟化氮,分子式:NF<sub>3</sub>。氣體分子量:71.01,熔點(diǎn):–206.8℃(1atm),沸點(diǎn):–129℃(1atm),臨界溫度:–39.3℃,臨界壓力:44.02atm(4.46MPa),液體密度:1554 kg/m<sup>3</sup>(1atm,沸點(diǎn)時(shí)),氣體密度:2.95 kg/m(1atm,21℃),水中溶解度(1atm,22℃):1.43×10-5當(dāng)量濃度。純凈的NF3氣體是一種無(wú)色無(wú)味的氣體,當(dāng)混入一定量的雜質(zhì)氣體后顏色發(fā)黃,同時(shí)會(huì)有發(fā)霉或刺激性氣味。NF3氣體不可燃,

但能助燃。當(dāng)溫度超過(guò)350℃時(shí),三氟化氮?dú)怏w會(huì)緩慢分解,分解時(shí)產(chǎn)生強(qiáng)氧化性氟。因此,在高溫下它是一種強(qiáng)氧化劑。CAS號(hào):7783-54-2。危險(xiǎn)性類別:第2.3類有毒氣體,在空氣中的最高允許含量為29mg/m

     

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