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六氟乙烷 C2F6
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六氟乙烷(hexafluoroethane),又稱(chēng)全氟乙烷,是乙烷中六個(gè)氫原子全部被氟原子取代后的產(chǎn)物,是鹵代烴(化學(xué)式:C2F6),亦是烴類(lèi)化合物乙烷所對(duì)應(yīng)的全氟化合物,是一種不易燃的氣體,難溶于水,微溶于醇。

 

應(yīng)用領(lǐng)域

 

   六氟乙烷可用于一種具多功能的蝕刻技術(shù),常見(jiàn)于半導(dǎo)體之生產(chǎn)。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對(duì)其金屬基質(zhì)的選擇性蝕刻。叧外,它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。

 

   六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)

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