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如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光，可稱為第三代激光。激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮氣或工業(yè)氧氣，當切割不銹鋼板或是切割鋁板時一般使用高純氮氣作為輔助氣體，一般壓力要求比較高。 激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來產生激光的氣體，對氣體質量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達99.999%，高純氮氣的純度99.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機氣體雜質對激光機的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機對這些氣體的質量要求特別高。

常用的激光焊接保護氣體主要有N2、Ar、He，其物化性質各有差異，也因此對焊縫的作用效果也各不相同。激光切割機所用氣體的種類和作用： 1）空氣：①作為切割氣體使用 ②作為冷卻切使用 ③作為光路內部除塵使用（保護鏡片延長鏡片的使用時間） 2）普氧：作為切割碳鋼的氣體（助燃性）純度99.5% 3）純氮：作為切割不銹鋼的氣體（冷卻性）純度99.9%（切割碳鋼速度為3/4） 4）高純氮：作為激光器的使用氣體，純度：99.999% 5）高純氦：作為激光器的使用氣體，純度：99.999% 6）高純二氧化碳：作為激光器的使用氣體，純度：99.999% ；中性原子激光與離子氣體激光的差別，在于前者的激光光來自中性原子能階之間的躍遷，后者是離子的能階( 如Ar+,Kr+ )間之躍遷。因此，氬激光(Argon laser)與氬離子激光(Argon ion laser)并不相同，前者的激光光波長屬于紅外線波段，后者則在可見光和紫外線區(qū)。

激光氣體中的發(fā)生氣體時激光發(fā)生器上用來產生激光的氣體，對氣體質量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達99.999%，高純氮氣的純度99.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機氣體雜質對激光機的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機對這些氣體的質量要求特別高。近年來CO2激光加工設備雖然漸趨普及，但激光畢竟是一種新的工具，激光加工技術亦不同于傳統(tǒng)的加工方法，所以工業(yè)界在引進使用CO2激光器的過程中，曾經遇到各種各樣的問題，給很多廠商造成不少困擾。目元激光混合氣體的佳方案組成比例：CO:4%,CO2：8%,He:28%,N2:60%。這種四元激光混合氣體可以是二維激光切割機床達到輸出功率，并且大切割鋼板厚度達到25mm，還可以更好的保證工件質量。

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