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激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮氣或工業(yè)氧氣，當切割不銹鋼板或是切割鋁板時一般使用高純氮氣作為輔助氣體，一般壓力要求比較高。如果將氦（He）氖（Ne）激光作為代氣體激光，二氧化碳激光混合氣體是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆矗↘rF）激光，可稱為第三代激光。稀有氣體離子激光中，以氬離子激光及氪離子激光為常見。除了直接使用之外，氬離子激光常以其紫外線及藍綠光激起染料激光。

準分子(Excimer)激光：準分子一詞的本意，是「兩個同種原子組成，而只存在于受激態(tài)的分子」，如稀有氣體分子He2、Ar2、Xe2等；其英文原名為 Excited Dimer 組合成的術(shù)語。現(xiàn)在現(xiàn)已將它的適用范圍放寬，以包含「不存在于基態(tài)，只以受激態(tài)出現(xiàn)的任何雙原子分子(有時還包含三原子分子)」。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。金屬蒸汽離子激光中，氦鎘(He-Cd)激光是主要的，氦硒(He-Se)、氦鋅(He-Zn)等激光為此家族中之成員。氦鎘激光的325 nm紫外線，和441.6 nm藍光，是常見的輸出。加上特殊設(shè)計時，它可同時發(fā)生紅光(635.6及636.0 nm)和綠光(533.7及537.8 nm)。它的短波長成分，在信息處理方面很有用。適當調(diào)配各波長的輸出，幾乎能夠發(fā)生一切可見光的顏色，因此它的白光激光產(chǎn)品也是有名的。儲存密度及鑒別能力的提高，使它在量度、查驗、記載、印刷等方面有許多使用。

激光氣體中的發(fā)生氣體時激光發(fā)生器上用來產(chǎn)生激光的氣體，對氣體質(zhì)量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達99.999%，高純氮氣的純度99.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產(chǎn)生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機氣體雜質(zhì)對激光機的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機對這些氣體的質(zhì)量要求特別高。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。如果將氦（He）氖（Ne）激光作為代氣體激光，二氧化碳激光混合氣體是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆矗↘rF）激光，可稱為第三代激光。

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